시노펙스가 웨이퍼 가공시 발생되는 폐수를 재활용 하는 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템을 국내 최초로 개발에 성공했다고 12일 밝혔다.
웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 반도체 제조 공정 중 발생하는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리ㆍ정제해 깨끗한 물로 재활용하는 설비다.
기존에는 웨이퍼 폐수의 주 성분인SIC(Silicon carbid), 냉각제, 물등을 처리하기 위해 원심력(遠心力)을 이용한 분리기로 물질을 분리하거나 생물학적 처리 및 소각 등의 과정을 거쳐야 했다.
이번 시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 개발로 폐수의 98%이상을 재활용해 30%이상의 원가절감이 가능해 졌다.
또 친수성(親水性)과 내오염성이 강한 폴리아크릴로니트릴(PAN)계 분리막을 탑재해 복잡한 처리 과정을 한번에 일괄 처리한다는 장점이 있다.
시노펙스 손경익 대표이사는 "웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 은 산업현장의 친환경 설비로 현재 특허 출원 준비 중"이라며 "이런 기술력을 바탕으로 앞으로 친환경 바람이 불고 있는 국내뿐 아니라 세계 시장의 진출 등 적극적인 마케팅을 진행할 계획"이라고 설명했다.
