디엠에스, 하이닉스에 건식식각장비 공급

입력 2009-12-02 09:20

디엠에스는 반도체전공정 핵심장비인 건식식각장비(드라이에처)를 하이닉스반도체로부터 처음 수주 받았다고 2일 밝혔다.

디엠에스 관계자는 "지난 10월 삼성전자로부터 메모리 건식식각장비 첫 수주에 성공한 후 1개월 만에 얻은 성과로 순수 자체기술로 국산화함으로써 반도체 장비시장에 성공적으로 진입했다는 면에서 의미가 크다"고 설명했다.

또 "작년 4월 지식경제부와 하이닉스반도체가 대ㆍ중소기업 상생협력 프로그램의 일환으로 추진 중인 '성능평가 협력사업'에 참여해 건식 식각장비를 양산라인에 납품, 장비의 성능을 검증 받아 국산화에 성공하여 공급계약을 체결하게 됐다"고 말했다.

건식 식각장비는 현재 국산화율이 낮고 해외 의존도가 높아 국산화가 시급한 국책과제 중 하나인 제품이다.

이번에 디엠에스가 개발한 건식 식각장비 'i-제미너스'는 반도체 300mm 40나노급 메모리제품의 양산에 이미 적용했으며 차세대 메모리제품에 대해서도 양산성능을 확인 중에 있다.

특히 소모성 교체 부품수가 적어 원가경쟁력이 있고 교체주기가 길고 장비의 가동률이 높아 안정성을 확보한 스마트한 컨셉의 획기적인 제품이다.