국제엘렉트릭코리아는 노즐 유닛 및 그 유닛을 갖는 원자층 증착 설비 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 "노즐 유닛의 온도 상승을 억제, 노즐 유닛을 통해 분사되는 제2가스가 기판에 도달하기 전 열분해 되는 것을 예방함으로써 기판에 현성되는 박막 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다"고 설명했다.
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