반도체 및 LCD 전공정 화학증착장비 제조기업인 주성엔지니어링은 지난 13일 대만에서 회전형 가스분사기를 가지는 반도체소자 제조장치 및 방법 관련 특허를 취득했다고 14일 밝혔다.
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