테스, 플라즈마 처리 관련 특허권 취득

입력 2009-05-27 14:18

정석훈 기자

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테스는 27일 플라즈마 처리 장치와 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "기존 반도체 장비 적용을 통한 경쟁력 강화와 반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용할 것"이라고 밝혔다.

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