티로보틱스, 주행기능 갖춘 ‘주행축 추가 진공로봇’ 특허 등록

입력 2022-05-03 14:29

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▲티로보틱스CI

로봇 제조 전문기업인 티로보틱스가 차세대 반도체 공정 장비에 대응 가능한 ‘주행축 추가 진공로봇’에 대한 국내 특허 등록(특허번호 제2394121호)을 완료했다고 3일 밝혔다.

이번 특허의 구조는 반도체 웨이퍼 이송 진공로봇을 3절링크 형태의 주행축 위에 양팔 이송로봇을 올려놓는 구조 고안을 통해 장거리 작업성능을 확보하는 방식이다.

티로보틱스는 “반도체 제조사들이 더 스마트하고, 더 빠르고, 더 집적도 높은 칩을 개발하면서 공정의 복잡성과 단계 수가 빠르게 증가하고 있다” 며 “이에 공정 장비가 늘어나면서 효율적인 배치가 중요하게 돼 장비의 설치공간 축소와 장비 구성의 가로세로 비율이 증가하는 추세에 있다”고 설명했다.

이어 “이러한 차세대 반도체 공정 장비에는 한 대의 로봇으로는 웨이퍼 이송 거리가 부족해 두 대의 로봇을 사용하거나, 주행 기능이 추가된 새로운 로봇이 필요하게 된다”고 말했다.

안승욱 티로보틱스 대표는 “이번에 고안된 주행축 추가 진공로봇은 한대의 로봇으로 장거리 이송이 가능하고 특히 주행 기능에 3절 링크구조를 채택해 주행 기능 추가에 따른 오염 발생을 원천적으로 방지하고, 긴 주행 범위를 갖도록 했다”며 “이를 통해 장비 투자 비용을 줄이고 장비의 설치 공간을 더 효율적으로 사용함은 물론 생산성도 높일 수 있게 됐다”고 말했다.