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티로보틱스, 세계 최초 주행죽 추가 이송로봇 개발…특허 등록 완료

입력 2021-09-30 09:15

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▲티로보틱스CI

최근 모바일기기용 패널의 공급부족으로 삼성디스플레이, LG디스플레이는 물론 중화권 BOE 까지 OLED디스플레이 부분에 대규모 투자를 예고한 가운데 티로보틱스가 차세대 OLED 공정장비에 대응가능한 ‘주행축 추가 이송로봇’을 세계 최초로 개발하고 국내 특허 등록을 완료했다.

30일 티로보틱스는 “OLED가 대형화 될수록 기존의 8각형 챔버형태의 공정장비 배치는 공정효율면에서 불리하게 된다”며 “이에 4각형 일렬형태의 배치가 대안으로 떠오르고 있는데, 이 경우에는 장거리 작업이 가능한 이송로봇이 필수적”이라고 밝혔다.

이어 “이번에 특허등록된 티로보틱스의 진공이송로봇은 링크형태의 주행축위에 이송로봇을 올려놓는 구조 고안을 통해 장거리 작업성능을 확보한 한 세계최초의 주행축 추가 진공이송 로봇”이라고 덧붙였다.

이번에 고안된 주행축은 링크구조를 사용해 다른 주행방식보다 오염방지에 유리하다. 또 동시에 특허 등록된 양팔형 이송로봇은 작업속도가 크게 향상된 로봇이다.

특히 작업거리, 오염방지, 작업속도 향상 등 새로운 기술개발을 통해 진공이송 로봇은 대형 OLED 공정에서 글로벌 경쟁사 제품보다 한발 앞서게 됐다고 회사측은 설명했다.

안승욱 티로보틱스 대표는 “이번에 특허 등록한 기술이 적용된 진공이송로봇은 투자를 준비하고 있는 OLED 6세대는 물론 향후 투자가 예상되는 8세대에도 업계에 새로운 대안이 될 것”이라며 “이러한 기술은 반도체나 마이크로 OLED(마이크로 LED) 등 여러 분야에 다양하게 응용될 수 있을 것”이라고 말했다.

최근 모바일기기용 패널의 공급부족으로 삼성디스플레이, LG디스플레이는 물론 중화권 BOE 까지 앞다퉈 OLED디스플레이 부분에 대규모 투자를 예고했다. 이르면 올해 말부터 OLED디스플레이 부분에 투자가 시작될 것으로 시장관계자들은 예측하고 있다.

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