알에프세미, 플라즈마를 이용한 건식 식각 방법 관련 특허 취득

입력 2008-10-28 15:11

최양규 기자

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알에프세미는 플라즈마를 이용한 건식 식각 방법에 관한 특허를 취득했다고 28일 밝혔다.

이 기술은 신제품 적용에 기반 특허로 활용할 예정이다.

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