예스티, 차세대 반도체 장비 관련 국책과제 2개 사업 선정

입력 2020-04-29 15:01

예스티가 한국산업기술평가관리원의 차세대지능형반도체기술개발 사업에 선정됐다고 29일 밝혔다.

해당 과제는 산업통상자원부의 산하기관인 한국산업기술평가관리원에서 주관하는 차세대지능형반도체기술개발 사업 중 ALD(원자층증착) 장비와 관련한 것이다. 2023년 12월까지 4년 간 진행되며, 총 사업비 70억 원으로 동일 사업 내 가장 큰 규모다.

이번 ALD 장비 개발은 미국 달라스 대학교(University of Texas at Dallas)와 협업해 수행한다.

ALD 장비는 메모리 반도체의 제조 공정 중 유전막을 증착하는 장비로, 원자층 단위로 증착하기 때문에 점차 박막화ㆍ소형화 되어가는 차세대 반도체 소자에 적합한 공정 장비로서 그 수요가 점차 크게 증가할 것으로 기대된다는 설명이다.

예스티는 앞서 23일 고속ㆍ고품질의 마스크리스 플라즈마 반도체 웨이퍼 다이싱 가공장비 개발 과 관련한 산업핵심기술개발사업 과제에도 선정된 바 있다 .

회사 관계자에 따르면 “우수한 기술력을 인정받고 차세대 선도 장비 개발의 교두보를 마련했다”라 “차세대 장비의 성공적인 개발을 통해 반도체 장비 국산화에 앞장서고 전공정 장비 사업에도 진출할 것”이라고 덧붙였다.

한편, 예스티는 22일 영업잠정실적 공시를 통해 2020년 1분기 매출액 109억 원, 영업이익 2억 원, 당기순이익 89억 원으로 흑자전환했다고 밝혔다.