탑엔지니어링은 기판 식각 장치에 대한 특허를 취득했다고 18일 공시했다. 회사 측은 “기판을 이송하는 구동원에 기인하지 않고, 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것”이라며 “FPD제조 장비의 경쟁력 강화에 이용할 것”이라고 설명했다.
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탑엔지니어링, 기판 식각 장치 관련 특허 취득
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