에스엔텍, 반도체 공정진단 시스템 사업 초읽기…가을께 양산 계획

입력 2019-05-17 14:19

오예린 기자 yerin2837@etoday.co.kr

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에스엔텍은 SoW(반도체 공정진단 시스템) 양산을 위해 최근 시화공단 입주계약을 체결했다고 17일 밝혔다.

에스엔텍은 해당 공장에 대한 환경 인허가 승인 획득 후, 양산 준비 공사와 국내외 주요 고객사 테스트를 거쳐 가을께부터 양산을 시작한다는 계획이다.

SoW는 웨이퍼 형태로 챔버 내 온도 및 플라즈마 상태를 실시간으로 측정해주는 센서로, 반도체 미세공정화로 제조공정상의 정밀 진단ㆍ제어 시스템 수요가 확대됨에 따라 그 시장 성장이 기대된다.

에스엔텍 관계자는 “SoW는 기존 장비사업 위주의 사업구조를 보완하기 위한 부품ㆍ소재사업 육성의 일환으로 오랜 기간 준비해 온 아이템 가운데 하나”라며 “SoW 사업을 발판으로 향후 시장 확대 가능성이 큰 정밀공정 진단ㆍ제어 시스템의 다양한 응용 분야를 장기적으로 개척해가고자 한다”고 말했다.

에스엔텍은 최근 ‘플라즈마 측정용 웨이퍼’ 4건에 대한 PCT(특허협력조약) 국제출원을 마쳤다. 또 2017년 4월 산업통상자원부가 주관하는 ‘실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 시스템 개발’ 국책과제에 선정돼 연구개발을 진행해오고 있다.