테스, 에칭방법 특허 취득

입력 2019-05-02 10:52

오예린 기자

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테스는 반도체 장비에 적용되는 에칭방법에 관한 특허를 취득했다고 2일 공시했다.

회사측은 특허 활용 계획에 대해 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 때문”이라고 말했다.

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