테스는 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 19일 공시했다. 이 특허는 디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 기술이다.
회사 측은 "공정 수행 시 공정가스에 의해 챔버 내부 증착 공간의 하부 등에 파우더가 쌓이는 것을 방지할 수 있고 발생을 억제할 수 있어 증착효율성이 개선된다"고 설명했다.
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