테스, 디스플레이 박막증착장치 특허 취득

입력 2016-09-06 15:21

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남주현 기자

테스는 박막증착장치 관련 특허를 취득했다고 6일 공시했다.

회사측은 "이 특허는 기판에 박막을 형성하기 위한 각종 공정가스의 복잡한 제어 및 구성을 필요로 하지 않게 되어 기존에 비해 단순한 구성으로 박막을 증착할 수 있다"고 밝혔다.

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