아토는 13일 공시를 통해 웨이퍼 이송 장치 관련 특허를 취득했다고 밝혔다. 이번 특허는 차기 개발 장비에 적용될 예정이다.
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아토, 웨이퍼 이송 장치 관력 특허취득
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- 조남성, 장성대 (각자대표이사)
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- [2026.02.13] 지급수단별ㆍ지급기간별지급금액및분쟁조정기구에관한사항
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아토는 13일 공시를 통해 웨이퍼 이송 장치 관련 특허를 취득했다고 밝혔다. 이번 특허는 차기 개발 장비에 적용될 예정이다.