에스엔유는 모노머 진공 증착 장치와 CIGS 열처리 셀레늄 공급장치와 관련한 특허권을 취득했다고 27일 공시했다. 모노머 진공 증착 장치는 디스플레이 제조장비, CIGS 열처리 셀레늄 공급장치는 태양광 제조장비에 활용되는 기술이다.
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