에스엔유프리시젼은 CIGS(구리·인듐·갈륨·셀레늄) 박막 급속 열처리 장치 관련 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 “본 발명은 CIGS 태양전지의 광흡수층을 만들 때 조성의 균일성 및 열공정의 균일성이 확보되도록 함으로써 고품질의 CIGS 광흡수층을 형성할 수 있는 CIGS 박막 급속 열처리 장치에 관한 것”이라고 설명했다.
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