테스, 반도체 소자 식각공정 관련 특허 취득

입력 2015-08-17 14:16

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김유진 기자

테스는 반도체 소자의 식각공정과 관련한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 이는 반도체 장비에 적용되는 기술로 향후 제품 경쟁력 강화에 활용될 예정이다.

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