에스엔유, 기판 정렬 장치 등 특허 2종 취득

입력 2015-07-13 14:40

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에스엔유는 13일 기판 정렬 장치 특허를 취득했다고 공시했다. 또 두께 측정 장치 및 이를 이용한 두께 측정 방법 특허도 취득했다고 밝혔다.

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