파이컴, 반도체 검사 장치 관련 프로브 블록 특허 취득

입력 2006-12-19 14:38

김정화 기자

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파이컴은 19일 반도체 검사 장치의 프로브 카드 및 그 프로브 카드에 사용되는 프로브 블록과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

파이컴 관계자는 "본 발명은 반도체 웨이퍼에 집적된 IC칩의 불량여부를 검사하기 위한 프로브 카드에 관한 것으로, 프로브 자체 탄성력을 이용함으로 조립성 및 교체 작업이 용이하며, 신호 전달 과정에서 누설 전류를 최소화함으로 반도체 웨이퍼의 칩 검사에 대한 신뢰성을 향상시키는 우수한 효과가 있다."고 설명했다.

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