케이씨텍은 29일 연마입자, 연마용 슬러리 및 이의 제조방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "본 발명은 연마용 슬러리 및 그 제조방법에 관한 것으로, 원료 전구체를 다단계로 하소하여 결정화를 촉진시킴으로써, 마이크로 스크래치를 감소시키면서 높은 연마율을 유지할 수 있다. "고 설명했다.
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케이씨텍, 연마입자, 연마용 슬러리 제조방법 특허 취득
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