케이씨텍은 29일 로봇 척 세정조 겸용 기판 린스조, 이를 포함하는 습식세정 장치 및 기판 세정 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "본 발명은 웨이퍼용 습식세정장치에 관한 것으로, 웨이퍼 이송용 로봇척을 별도의 세정장치 없이 기판 린스조에서 세정할 수 있도록 구성되어, 습식세정장치의 크기 및 공정시간을 획기적으로 절감할 수 있다."고 설명했다.
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케이씨텍, 로봇 척 습식세정 장치관련 특허 취득
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