케이씨텍은 29일 유체 내의 불순물 여과장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 가공장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "본 발명은 웨이퍼 처리장치 내 불순물 여과장치에 관한 것으로, 필터 등을 구비할 필요없이 간단한 기계적 구성으로 불순물을 여과할 수 있으므로, 비용이 절감되고 유지보수가 용이하다"고 설명했다.
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케이씨텍, 유체 내의 불순물 여과장치 포함 웨이퍼 가공장치 특허 취득
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