제우스, LCD글라스 기판 오븐챔버 관련 특허 취득

입력 2006-11-20 14:03

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김정화 기자

제우스는 20일 이중 패킹 구조의 도어를 갖는 LCD글라스 기판 오븐챔버와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

제우스 관계자는 "LCD 제조 공정상에 발생하는 부산물(Fume)등의 유출을 방지하여 유지보수가 용이하고, 공정상 청정도를 유지에도움이 된다"고 설명했다.

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