제우스는 20일 이중 패킹 구조의 도어를 갖는 LCD글라스 기판 오븐챔버와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
제우스 관계자는 "LCD 제조 공정상에 발생하는 부산물(Fume)등의 유출을 방지하여 유지보수가 용이하고, 공정상 청정도를 유지에도움이 된다"고 설명했다.
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제우스, LCD글라스 기판 오븐챔버 관련 특허 취득
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