케이씨텍, 기판 공정시스템 필터 정화장치 특허 취득

입력 2006-11-15 16:15

  • 김정화 기자 kss@e-today.co.kr

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케이씨텍은 15일 대면적 기판 공정시스템의 필터 정화장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

케이씨텍 관계자는 "본 발명은 대면적 기판 공정시스템의 필터 정화장치에 관한 것으로, 필터가 설치된 상태로 고압의 세정수를 이용하여 필터를 세정함으로써, 필터를 분리, 재설치 할 필요가 없어 생산성을 향상 시킬 수 있다. "고 설명했다.

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