에이디피엔지니어링은 기판검사장치와 관련해 특허를 취득했다고 9일 밝혔다.
에이디피엔지니어링 관계자는 "이번 발명은 기판의 검사값인 촬상 신호가 단전에 의해 손실되는 것을 방지하는 장점이 있다"고 설명했다.
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