카엘은 8일 가스 스크러버(Gas Scrubber)와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
카엘 관계자는 "본 발명은 반도체제조 공정 등의 잔여가스나 유해가스를 흡착처리하여 정화하는 건식 가스 스크러버에 관한 것으로, 기존 건식 스크러버의 파우더로 인한 흡착효율저감을 최소화하고 유지비를 절감할 수 있도록 기존 건식 스크러버의 개선에 적용할 계획"이라고 설명했다.
카엘은 8일 가스 스크러버(Gas Scrubber)와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
카엘 관계자는 "본 발명은 반도체제조 공정 등의 잔여가스나 유해가스를 흡착처리하여 정화하는 건식 가스 스크러버에 관한 것으로, 기존 건식 스크러버의 파우더로 인한 흡착효율저감을 최소화하고 유지비를 절감할 수 있도록 기존 건식 스크러버의 개선에 적용할 계획"이라고 설명했다.