DMS는 8일 기판이송용 회전축 및 그를 이용한 기판이송장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
DMS 관계자는 "본 발명은 평판 디스플레이의 제작 공정에 이용되며, 제작비용을 줄이고, 대형 기판의 과중량으로 인한 진동을 감소시킬 수 있는 기판 이송용 회전축 및 그 회전축을 이용한 기판 이송장치에 관한 것이다"라고 설명했다.
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DMS, 기판이송장치 관련 특허 취득
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