이오테크닉스는 31일 폴리곤 미러 하우징과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
이오테크닉스 관계자는 "웨이퍼 절단시 레이저를 이용하기 위해 폴리곤 미러를 이용하여 레이저 빔을 정확하게 조사하기 위한 방법"이라고 설명했다.
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이오테크닉스, 폴리곤 미러 하우징 특허 취득
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