에이디피, 평판표시소자 제조장치 공정챔버 관련 특허취득

입력 2006-10-26 10:40

박인혜 기자

  • 작게보기

  • 기본크기

  • 크게보기

에이디피엔지니어링은 26일 내측벽에 냉온순환로가 형성된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

에이디피엔지니어링 관계자는 "이번발명은 공정챔버의 벽체중 특정 벽체의 온도를 개별적으로 조절이 가능한 특징이 있다"고 설명했다.

  • 좋아요0
  • 화나요0
  • 슬퍼요0
  • 추가취재 원해요0
주요뉴스
댓글
0 / 300
e스튜디오
  • 트럼프 머스크에 호재 불어주나? 테슬라 주가 뒤집을 반전 카드는 '이것' ㅣ 강정수 블루닷AI 연구센터장 [찐코노미]
많이 본 뉴스
뉴스발전소
  • 누가 'SNS' 좀 뺏어주세요 [솔드아웃]
  • 누가 'SNS' 좀 뺏어주세요 [솔드아웃]