코미코, 더블 플랫을 갖는 정전척 특허 취득

입력 2006-10-23 16:07

  • 김정화 기자 kss@e-today.co.kr

  • 작게보기

  • 기본크기

  • 크게보기

코미코는 23일 더블 플랫을 갖는 정전척과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

코미코 관계자는 "본 발명은 웨이퍼를 척킹하는 정전척(Electrostatic chuck;ESC)에 관한 것으로 보다 구체적으로는 노치타입(notch type) 웨이퍼를 척킹할 수 있는 더블 플랫을 갖는 정전척에 관한 것으로, 노치(Notch) 타입 웨이퍼를 정전력으로 척킹하는 정전척은 2개의 플랫(flat zone)을 가지며 상기 플랫 사이의 거리는 상기 웨이퍼 지름에 대해 최소 96% 최대 96.8%인 것을 특징으로 한다"고 설명했다.

  • 좋아요0
  • 화나요0
  • 슬퍼요0
  • 추가취재 원해요0
주요뉴스
댓글
0 / 300
e스튜디오
  • 테슬라 능가하는 엄청난 것이 나온다? 머스크가 일으킬 파란과 운명 ㅣ 강정수 박사 [찐코노미]
많이 본 뉴스
뉴스발전소
  • [찐코노미] 테슬라 능가하는 엄청난 것이 온다?…머스크가 일으킬 파란은
  • [찐코노미] 테슬라 능가하는 엄청난 것이 온다?…머스크가 일으킬 파란은