에이디피엔지니어링은 19일 기판 수납장치 재치대와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
에이디피엔지니어링 관계자는 "본 발명에 의하면 기판 수납 장치의 위치 가변장치 이동거리 제한 및 기판 수납 장치의 완충력 제공 등으로 공간축소의 특징이 있다"고 설명했다.
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