에이디피엔지니어링은 19일 평판표시소자제조장치의 공정챔버에 구비된 가스이동로 조절식 배플과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
에이디피엔지니어링 관계자는 "본 발명에 의하면 배플 내부와 가스이동로 변경으로 가스배출이 속도가 균일하게 이루어지는 특징이 있다."고 설명했다.
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