에이디피, 플라즈마처리장치 특허 취득

입력 2006-10-19 11:27

김정화 기자

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에이디피엔지니어링은 19일 플라즈마처리장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

에이디피엔지니어링 관계자는 "본 발명의 의하면 리프트 핀 승강에 따른 마모현상을 윤활제 도포로, 리프트핀 구멍의 기밀유지와 마모를 감소시킬수 있다"고 설명했다.

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