코닉시스템, 레이저 결정화 장치 관련 특허 취득

입력 2006-10-17 14:46

박인혜 기자

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코닉시스템은 반사 빔을 이용하여 실시간으로 레이저 에너지를 제어하는 레이저 결정화 장치와 관련해 특허를 취득했다고 17일 밝혔다.

코닉시스템 관계자는 "이번 발명은 기판에 조사되는 레이저 빔의 에너지를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 레이저 결정화 장치에 관한 것으로서, 기판에 조사되는 레이저 빔의 에너지가 일정하게 유지되도록 함과 동시에 기판에서 반사된 레이저 빔을 챔버 밖으로 유도하여 제거함으로써 종래의 문제점을 해결할 수 있는 레이저 결정화 장치"라고 설명했다.

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