테스는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
이 특허는 반도체 ALD(Atomic layer deposition; 원자층 증착)장비에 적용되는 기술이다.
회사 측은 "신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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