아이피에스, 상변화 메모리용 칼코제나이드막 증착 방법 특허 취득

입력 2006-09-28 15:22

  • 김정화 기자 kss@e-today.co.kr

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아이피에스는 28일 상변화 메모리용 칼코제나이드막 증착 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아이피에스 관계자는 "본 발명은 상변화 메모리에 관한 것으로서, 상변화 메모리의 상변화막인 칼코제나이드(Chalcogenide)막의 증착 방법에 관한 것"이라고 설명했다.

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