아이피에스는 28일 기판 디처킹 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
아이피에스 관계자는 " 발명은 정전척에 고정된 기판을 떼어내는 디처킹(De-chucking) 방법에 관한 것으로서, 기판이 정전척으로부터 완전히 디처킹된 시점을 정확히 측정하여 기판의 파손을 방지하는 기판 디처킹 방법에 관한 것"이라고 설명했다.
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아이피에스, 기판 디처킹 방법 특허 취득
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