주성엔지니어링, 반도체소자의 제조장치 특허 취득

입력 2006-09-26 15:12

김정화 기자

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주성엔지니어링은 26일 반도체소자의 제조장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "본 발명은 챔버의 잔류 기체물질을 외부로 배기함에 있어서, 챔버의 반응영역 전 면적에 걸쳐 고른 배기압력을 부여할 수 있도록 판 상의 배기플레이트를 구비하여 서셉터와 챔버의 저면 사이에 수평하게 게재함으로써, 보다 개선된 배기구조를 가지는 액정표시장치용 챔버를 제공한다"고 설명했다.

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