케이씨텍은 21일 연마용 슬러리 및 이의 제조 방법 및 기판 연마 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 " 발명은 연마용 슬러리에 관한 것으로, 하소공정에서 온도 및 시간조건을 변화시켜 입자의 공극률을 제어함으로써, 단단한 입자의 발생을 최소화하여 마이크로 스크래치를 감소시킬 수 있도록 한 연마용 슬러리 및 이의 제조방법 및 기판연마방법에 관한 것"이라고 설명했다.
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케이씨텍, 연마용 슬러리 제조 방법 특허 취득
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