디엠에스는 13일 평판디스플레이용 기판처리장치 및 기판처리방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
디엠에스 관계자는 "본 발명은 평판 디스플레이의 제조 공정에서 기판 위에 형성된 감광성 막을 제거하는 스트립 장비에 이용되며, 카보네이트계 약액을 이용하여 스트립 공정을 수행하는 기판처리장치 및 방법에 관한 것"이라고 설명했다.
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디엠에스, 평판디스플레이용 기판처리장치 관련 특허 취득
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