참이앤티, 에싱시스템 이용 기판 제조방법 특허

입력 2006-08-29 11:08

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김정화 기자

참이앤티는 29일 기판용 에싱시스템 및 이 에싱시스템을 이용하여 기판을 제조하는 방법 특허를 취득했다고 밝혔다.

참이앤티 관계자는 “기판상 국부적 패턴불량의 발생시 처음단계로 다시 피드백하지 않고 불량영역을 에싱할수 있도록 함으로써 공정상의 생산성을 향상시킬수 있다”고 설명했다.

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