참이앤티, 기판 세정용 용액 희석시스템 특허

입력 2006-08-29 11:08

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김정화 기자

참이앤티는 29일 기판 세정용 용액 희석시스템 및 방법 특허를 취득했다고 밝혔다.

참이앤티 관계자는 “기판 세정용 워터에 별도의 첨가제를 일정비율로 희석시켜 기판을 세정함으로써 기판의 계면을 활성화시켜 계면에 정전기가 발생하는 것을 저지할수 있도록 한 것”이라고 설명했다.

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