오성엘에스티는 3일 기판처리장치 특허 취득을 공시했다.
오성엘에스티 관계자는 “본 발명은 LCD나 PDP패널 제조공정 중, 기판의 건조에 관한 건으로, 기판을 넣은 챔버(Chamber)와 가열된 건조공기가 지나갈 수 있도록 형성된 덕트 중 공급덕트와 배출덕트에 각각 압력측정센서를 설치하여 이 2개의 압력측정센서에서 측정한 압력차를 이용하여 필터의 교체시기 및 구동모터의 회전속도를 제어, 풍속을 조절하여 기판을 건조시키는 기판처리장치에 관한 것”이라고 설명했다.
이어 “향후 본 기술을 응용한 제품의 기술 우위 선점 및 경쟁력을 강화할 것”이라며 특허활용계획을 밝혔다.
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