테스는 19일 기상 증착 장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “이번 특허를 활용하면 원료의 증착 효율을 높이면서도 플라즈마 반응과 같은 가스 활성화 반응이 안정적으로 발생할 수 있는 이점이 있다”며 “향후 장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 것”이라고 밝혔다.
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테스, 기상 증착 장치 관련 특허권 취득
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