테스는 유기금속화학증착 반응기 특허를 취득했다고 22일 공시했다.
이 특허는 가스를 반응기 몸체의 측부로부터 반응기 몸체의 중앙부를 향해 가이드하는 가스 가이드 부재를 포함하는 기술이다.
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테스, 유기금속화학증착 반응기 특허권 취득
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