테스는 22일 가판처리시스템 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “이번 특허는 하부막에 데미지가 발생하는 것을 방지하면서도 식각 부산물 및 흄을 모두 제거할 수 있다”며 “기판처리시스템의 설치면적 대비 생산성이 매우 향상되는 효과도 볼 수 있다”고 설명했다.
이어 “장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 것”이라고 덧붙였다.
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테스, 가판처리시스템 특허권 취득
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