로체시스템즈, 기판 가공장치 관련 특허권 취득

입력 2013-05-31 13:17

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구성헌 기자

로체시스템즈는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치 관련한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.

#로체시스템즈

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