원익아이피에스는 21일 원료 공급장치 및 공급 방법에 대한 특허권을 20일자로 취득했다고 밝혔다,
회사측은 원료 공급장치의 케미컬 공급 중단 가능성을 예방하고, 비상 상황 발생(전원 공급 중단 등) 시에도 일정시간 지속적인 케미컬 공급을 통해 제조장비 공정 중단 방지하는 기술이라고 설명했다.
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원익아이피에스, 원료 공급장치 및 공급 방법 관련 특허
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