테스, 흄 제거하는 특허 취득

입력 2012-03-27 14:43

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이재현 기자

테스는 27일 흄 발생없이 패턴을 형성하는 방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "이번 특허는 공정간의 시간 지연에 의해 발생하는 패턴 내부의 흄을 효과적으로 제거할 수 있다"라며 "장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 설명했다.

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